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        1. 【中國科學報】為中國“芯”注入科技力量——記中科院蘇州納米技術與納米仿生研究所研究員張寶順

                     張寶順 

            中科院蘇州納米技術與納米仿生研究所納米加工平臺主任、研究員,曾先后擔任科技部“光電子與微電子器件與集成”重點研究計劃專家組成員、國家科技進步獎評審專家,長期從事半導體材料生長和器件加工工藝研究。

            作為關鍵核心技術,芯片被譽為一個國家的“工業糧草”,是整機設備的“心臟”,芯片技術也從某種程度代表了一個國家的信息技術水平。

            中科院蘇州納米技術與納米仿生研究所(以下簡稱蘇州納米所)研究員張寶順深知這顆“心臟”的重要。于是,他積極投身相關領域研究,為中國“芯”注入科技力量。

            忘我拼搏,打造科研“新硅谷” 

            近年來,中國電子信息產業整體規模高速發展,但關鍵核心技術受制于人的局面沒有得到根本性改變,“卡脖子”問題倒逼中國“芯”走上自主研發之路。

            張寶順深知肩上使命和責任的分量,2006年,他受邀加入蘇州納米所,從零起步,投身納米加工平臺建設。

            “我們平臺的使命,就是跟眾多企業、研究院所合作,大家共同努力,把核心的芯片國產化,并實現自主可控,減少我們對國外的依賴?!睆垖氻樥f。

            籌建之初,張寶順帶著團隊,以“5+2”“白加黑”“非常6+1”的拼搏精神,親自動手搭建、研發儀器設備,從方案設計到全線貫通,每個環節都緊密跟進、嚴格把控。

            2009年1月,在張寶順團隊的努力下,納米加工平臺正式對外開放,全面投入運行,并迅速成長為科研院所及中小企業創新孵化的搖籃,架起了科學研究與市場需求的橋梁。

            10余年來,張寶順扎根蘇州工業園區,負責建設和運行納米加工平臺。他帶領團隊建成了全面開放的集納米加工、工藝測試、器件封裝于一體的國內最大多功能公共服務平臺。該平臺現有超凈間面積10000平方米,包含6英寸MEMS、GaN基、SiC基和GaAs基芯片加工線及我國第一條8英寸面向5G應用的氮化鋁濾波器工藝線。

            該平臺完備的軟硬件技術支撐體系和獨具特色的高水平技術服務,吸引集聚了一大批創業領軍人才和高新技術企業落戶園區,增強了周邊企業自主創新能力,提升了園區納米技術產業整體發展環境,助力園區形成了科技“新硅谷”。

            目前,該平臺每年支持數百家企業進行創新產品開發,合作的高校研究院所團隊近200個,為企業產品研發及轉型升級、國家和地方重大科研任務完成提供了堅實的技術支撐。其中客戶之一的蘇州敏芯微電子技術有限公司,在該平臺協助下突破了多項關鍵技術工藝研發,解決了CMOS電路與MEMS芯片進行單一芯片集成的關鍵技術難題。

            苦練內功,實現微納芯片新突破 

            關鍵核心技術攻關,還是要在關鍵領域基礎研究上下功夫。

            多年來,張寶順承擔了國家“973”課題、國家自然科學基金委員會重大計劃、江蘇省產學研聯合創新等科研項目數十項。他參與的國家級重點項目“半導體激光泵浦固體激光器”2000年獲國家科技進步獎三等獎;帶領團隊率先在國內研制出基于相干布居數囚禁原理(CPT)的低功耗物理系統芯片,基于該成果合作開發了我國第一個芯片原子鐘樣機,打破了美國的技術壟斷;開發了基于氫等離子體鈍化的增強型氮化鎵電力電子器件,在此方面工作處于國際先進水平;團隊成果“面向未來的GaN基HEMTs高頻開關器件研制與應用”在2018年第一屆“率先杯”未來技術創新大賽中獲最高獎項。

            一項項成果和獎項的背后是張寶順和團隊日夜的奮斗。

            有一次張寶順到北京出差,在火車上突然眼睛看不見了,到醫院檢查后發現是視網膜出血導致的暫時失明。

            然而由于工作太忙,張寶順的眼疾一直拖了幾個月才做了手術。醫生叮囑,術后最好不用電腦、不看手機,可放心不下工作的張寶順,復工后,仍是一天未休。

            不斷超越,推動關鍵技術人才培養 

            在張寶順看來,創新人才是第一資源,誰擁有了一流創新人才,誰就能在科技創新中占據優勢。

            然而,半導體行業人才嚴重缺乏,對此張寶順深有感觸:“我們都是打著燈籠在全國甚至全球去找,才組建了現在100多人的大團隊,這是我們最寶貴的資源?!?/p>

            為打造納米技術人才培訓高地,納米加工平臺積極響應區域產業發展對人才的新要求,主動對接地方政府和企業,承擔了一系列高技能培訓項目和企業緊缺人才培訓項目,連續舉辦高技能人才職業技能競賽,推動關鍵技術人才的培養和儲備。

            迄今為止,張寶順已經培養了一支160余人的包括項目研發、工藝技術開發、技術培訓、平臺運行管理,以及設備開發、維修維護人員在內的專業人才隊伍。其中,從應屆畢業生成長為“中科院關鍵技術人才”“蘇州市勞動模范”“蘇州市青年崗位能手”或“蘇州工業園區高技能領軍人才”的團隊成員逾50人。

            “以科技助力中國芯”,通過納米加工平臺一流的對外技術服務,更好地發揮國家戰略科技力量的科技引領作用,促進核心芯片國產化、設備國產化,實現自主可控,盡早擺脫對國外的依賴,這就是張寶順奮力書寫的新時代答卷。

           

            《中國科學報》 (2021-05-21 第4版 綜合)

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